中文名稱： 單晶矽打孔靶材
發布時間： 2021-04-07 11:46:07
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材質：多晶矽或單晶矽
純度：5N--6N
表麵粗糙度：<Rz 0.8μm
尺寸及公差：根據客戶要求定製
矽靶材主要用於平板顯示器和微電子領域的濺射靶材。
靶材的主要性能要求
純度：純度是靶材的主要性能指標之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。
密度：為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布：通常靶材為多晶結構，晶粒大小可由微米到毫米量級。
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